发明涉及一种以金属钛为界面层的非晶金刚石薄膜材料，它是一种基体材料与非晶金刚石薄膜之间沉积一层金属钛而制备的多层材料。该材料经热处理后，能使金属钛与非晶金刚石薄膜之间形成一层碳化钛过渡层，造成金属钛与非晶金刚石薄膜之间良好的接触，并降低了界面的势垒高度，同时使结合力得到增强，增加非晶金刚石薄膜的使用寿命，该多层材料可广泛地用作微电子及其甲板显示器等新型功能器件的部件。