从 GaN 到 CMOS:金刚石散热技术获台积电、三星加持
随着人工智能和高性能计算的发展,芯片的运算能力持续提升,但随之而来的热量管理问题也日益突出。
当数十亿个纳米级晶体管以数十亿次每秒的速度切换时,电子流失的能量化为热,像一团无形的火焰在芯片内部燃烧。笔记本烫手、数据中心耗电暴涨,本质上都是同一个问题:芯片太热了。
随着器件尺寸不断缩小、晶体管密度提升,热量在有限空间内难以及时扩散,形成局部高温区域(热点),这些热点的温度可能比芯片其他部分高出几十摄氏度。为了防止过热导致性能下降,系统往往需要限制功率输出,从而影响整体运算效率。
目前,芯片散热主要依赖外部冷却方式,如散热片、风冷、水冷或液冷系统。如今,一台AI服务器(如Nvidia B300)功耗可达15千瓦,堪比一台家用电炉。散热已成为芯片性能提升的最大瓶颈。传统的风冷、水冷、液冷方案虽然进步显著,但在三维堆叠芯片(3D IC)和高密度AI算力模块面前仍显吃力。真正的难题是:如何在器件层面、甚至在纳米尺度上实现高效热管理,成为当前电子器件发展的关键挑战。
金刚石:理想但难以集成的导热材料
金刚石因其极高的导热率(约2200–2400 W/m·K,为铜的六倍)和电绝缘特性,被认为是理想的散热材料。然而,长期以来将其引入芯片一直存在困难。金刚石通常需要在超过1000°C的高温下生长,这一温度足以破坏半导体电路中的金属互连和介电层。
斯坦福大学的研究团队近期在这一方向上取得进展。他们开发出一种低温化学气相沉积(CVD)方法,能够在约400°C下在半导体表面直接生长多晶金刚石薄膜。与珠宝级单晶不同,这种薄膜厚度仅为数微米,可在不损伤器件的情况下形成良好的导热层。
在实验中,研究人员将这种金刚石涂层应用于氮化镓(GaN)射频晶体管(HEMT),结果显示器件的工作温度降低了约70°C。温度下降后,晶体管在高频信号放大时的稳定性显著提高,在X波段信号放大测试中展现出功率密度提升5倍的潜力说明这种方法在高功率、高频电子器件中具有潜在应用价值。
界面热阻与碳化硅“桥”的作用
在材料科学中,热传导不仅取决于材料本身的导热性能,还与界面之间的热阻有关。研究团队发现,当金刚石在氮化硅覆盖的GaN表面上生长时,会自然形成一层碳化硅(SiC)中间层。这一层结构起到“声子桥”的作用,使热量更容易在不同材料之间传递,从而显著降低了热边界阻(TBR)。
这一现象经布里斯托大学和佐治亚理工学院的独立测量得到验证。研究表明,碳化硅界面能够改善声子匹配,从而提高整体热传导效率。这为后续的界面工程提供了新的思路。
从GaN到CMOS:面向3D芯片架构的“热支架”设计
在GaN器件实验取得成果后,研究人员进一步探索了在硅基CMOS芯片上的应用。随着AI计算芯片广泛采用3D堆叠架构,层间热量的积聚成为影响可靠性的重要问题。传统的外部散热结构无法有效导出堆叠内部的热量。
为此,斯坦福团队提出了“热支架(thermal scaffold)”的概念:在晶体管上方的介电层中引入纳米级多晶金刚石层,通过垂直的导热通道(热柱)将热量逐层传导至外部散热系统。这些热柱可由铜或金刚石制成,并在多层芯片中形成连续的导热路径。模拟结果显示,这种结构能够将热点温度降低至传统设计的约十分之一,显示出显著的散热潜力。
多晶金刚石有助于降低3D芯片内部的温度。金刚石散热孔会在微米级深的孔洞内生长,这样热量就可以从一个芯片垂直流向堆叠在其上方的另一个芯片上的金刚石散热器。
3D芯片中的计算硅片层数越多,热支架带来的差异就越大。除非采用支架,否则超过五层的AI加速器的温度将远远超过典型的温度极限。
向产业应用迈进
这项研究正在与多家产业和科研机构合作推进。斯坦福团队已与美国国防高级研究计划局(DARPA)合作,验证金刚石集成技术在氮化镓功率放大器中的应用;同时,与台积电、应用材料、美光和三星等企业在硅基计算芯片领域展开合作。
DARPA的Threads项目旨在利用器件级热管理技术开发更高效的射频功率放大器,其功率密度目标为现有器件的6至8倍。研究团队计划在未来几年内进一步改进低温生长工艺,优化金刚石与半导体的界面集成。
最后
金刚石的高导热特性为电子器件提供了一种新的散热途径。低温生长工艺的突破,使其在不破坏器件结构的前提下应用于集成电路成为可能。虽然仍存在界面平整度、材料应力等工程问题需要解决,但从当前的实验结果来看,金刚石涂层有望成为未来高性能芯片热管理的重要方向。
研究人员认为,随着电子器件功率密度的持续提升,基于金刚石的散热方案可能在射频、功率电子和高性能计算领域获得广泛应用,并有望在未来的3D芯片架构中发挥关键作用。
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