纳米金刚石的抛光过程应满足以下要求:在抛光过程中,纳米金刚石的分级准确，如10nm、10~50nm等;建立抛光材料组分，纳米金刚石较好的储存方式是含水悬浮方式；纳米金刚石的表面和整体化学性质必须具有好的重复性和再现性；防止表面污染,纳米金刚石必须按照微电子技术规范，不含化学不纯物；纳米金刚石成本在稳定的条件下，必须与静压合成金刚石的微粉和膏体有可比性。